八十年代后期國內開始研發工業脫水微波設備，通過多年的努力，已經成功的解決了低氣壓微波場起弧放電，鋪料層之間加熱溫差，微波場內非接觸測溫等多項技術難題。從實驗階段跨入了工業化生產階段，為食品工程、制藥工程、生物工程、化工工程、材料工程以及農副產品深加工提供了一種新型、 的干燥設備。
常規的工業脫水微波設備中，（假定真空壓力為 7.37kpa ，物料脫水溫度為 40 ℃， 1kg水汽化熱是574大卡），由于在真空場合下，熱量通過對流傳遞十分困難，只能傳導進行,，加熱速度慢，干燥周期長，能耗大。微波真空干燥設備采用的是輻射傳能，是介質整體加熱，無需其它傳熱媒介，避免了上述缺點，所以速度快，效率高，干燥周期大大縮短，能耗降低。與常規干燥技術相比可提高工效四倍以上。
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